产品概要高速位移测量的版本!差分光纤位移计!高速、高分辨率测量狭窄和深处的位移!
只需将探头靠近测量点即可进行高速微位移测量。不需要补偿麻烦的工作反射。
新插件模块atp203!响应能力和分辨率进一步提高。
atw200的特点3mhz高速响应!非常适合分析压电元件和高速振动现象!
纳米级分辨率!它测量真实的位移,而不是速度,因此您不会错过低频下的微小位移!
配备可变低通滤波器,可实现最佳响应速度和分辨率。
轻松设定!只需将其靠近工件并仅执行一次反射率校正即可!
测量原理atw200是一款差动光纤位移计。我们专有的差分光纤排列 实现了纳米级的高分辨率和 3 mhz 的高速响应,同时抑制了待测工件反射率的影响。
如图1所示,光纤束在测量端布置的发射光纤、接收光纤a和接收光纤b的相对侧分支成三个分支。当来自光源的光倾斜入射到发射光纤时,光从测量端面射出,如图2所示,在测量表面上反射,进入接收光纤。此时,反射光变成环形,其直径根据测量间隙而变化。和信号pa+pb是总反射光量,差信号pb-pa根据间隙变化,如图 4 所示。差信号除以和信号得到的信号与被测物体的反射率无关(图5)。
应用实例非常适合压电元件的振动测量、高速振动现象分析、镜面旋转体的偏转测量、扫描探针显微镜的探针位移测量等。
规格放大器单元|插件模块|分辨率示例
关键词:显微镜
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