研发用真空置换炉气氛炉[mini-bench]系列介绍
超紧凑台式超高温实验反应釜[mini-bench]系列,是各种研发应用的理想选择
真空置换炉最高2000°c
还原气氛炉最高2000°c
我们根据您的预算和目的,从最小的配置(加热器/腔室+控制箱)中为碳炉(真空,惰性气体)和金属炉(真空,惰性气体,还原气氛)提出最佳系统。内径φ80mm坩埚内试,φ1~4英寸晶圆烧成尺寸紧凑,操作方便 温度快速升至2000°c!可广泛应用于sic和gan器件的基础研究,新材料和新材料的开发以及其他先进的基础研究和产品开发部门。
特征桌面尺寸小,可安装在实验室的有限空间内。
我们可以根据要求的烧制条件响应定制设计。
我们将提出适合您预算的设备配置。
【设备配置】(a) 腔室 + 控制箱 (b) 腔室 + 控制箱+ 真空排气系统(泵、仪表、阀门、真空管道)
*订购时请按照说明进行操作。
・要求的设备配置(上述a或b)、炉膛加热范围尺寸、样品材料、形状、烧成温度条件、炉气氛(真空烧制、气体类型)。
原理图规格
真空和气体置换炉(碳炉)还原气氛炉(金属炉)
最高工作温度 最高2000°c
加热器 石墨或c/c复合加热器 钨加热器
绝缘 石墨毡材料 钨屏蔽层,氧化铝绝缘
真空室 sus304水冷夹套结构,顶部装载,线性驱动驱动开/关(*φ3,仅4英寸)
使用氛围 在真空或惰性气体(ar、n2)中 在真空中,惰性气体(ar,n2),还原气体(h2等)
有效加热范围 φ1“~ φ4”(用于晶圆片进料烧制的平面加热器),或 -φ80 x 深度 最大100 (h) mm (圆柱形加热器)
极限真空度 1x10-2 帕斯卡(* 用于空炉)
真空泵 旋转泵(可选:干泵、高真空泵)
热电偶 包括c型热电偶
联锁 腔室表面温度、加热器超温(可选:冷却水)
公用设施和冷却水 加热器额定值最大 6kva(* 取决于加热范围尺寸),冷却水 3 升/分钟 0.4mpa
加热器平面加热丝(用于晶圆):c / c复合材料(或钨)
圆柱形加热丝(用于坩埚):c / c复合材料(或钨)
* 根据加热范围的尺寸,通过组合平面加热器和圆柱形加热器,可以在整个坩埚中均匀加热。
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