研发用真空置换炉气氛炉[Mini-BENCH]系列介绍
研发用真空置换炉气氛炉[mini-bench]系列介绍
超紧凑台式超高温实验反应釜[mini-bench]系列，是各种研发应用的理想选择
真空置换炉最高2000°c
还原气氛炉最高2000°c
我们根据您的预算和目的，从最小的配置（加热器/腔室+控制箱）中为碳炉（真空，惰性气体）和金属炉（真空，惰性气体，还原气氛）提出最佳系统。内径φ80mm坩埚内试，φ1~4英寸晶圆烧成尺寸紧凑，操作方便 温度快速升至2000°c！可广泛应用于sic和gan器件的基础研究，新材料和新材料的开发以及其他先进的基础研究和产品开发部门。
特征桌面尺寸小，可安装在实验室的有限空间内。
我们可以根据要求的烧制条件响应定制设计。
我们将提出适合您预算的设备配置。
【设备配置】（a） 腔室 + 控制箱 （b） 腔室 + 控制箱+ 真空排气系统（泵、仪表、阀门、真空管道）
*订购时请按照说明进行操作。
・要求的设备配置（上述a或b）、炉膛加热范围尺寸、样品材料、形状、烧成温度条件、炉气氛（真空烧制、气体类型）。
原理图规格
真空和气体置换炉（碳炉）还原气氛炉（金属炉）
最高工作温度 最高2000°c
加热器 石墨或c/c复合加热器 钨加热器
绝缘 石墨毡材料 钨屏蔽层，氧化铝绝缘
真空室 sus304水冷夹套结构，顶部装载，线性驱动驱动开/关（*φ3，仅4英寸）
使用氛围 在真空或惰性气体（ar、n2）中 在真空中，惰性气体（ar，n2），还原气体（h2等）
有效加热范围 φ1“~ φ4”（用于晶圆片进料烧制的平面加热器），或 -φ80 x 深度 最大100 （h） mm （圆柱形加热器）
极限真空度 1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉）
真空泵 旋转泵（可选：干泵、高真空泵）
热电偶 包括c型热电偶
联锁 腔室表面温度、加热器超温（可选：冷却水）
公用设施和冷却水 加热器额定值最大 6kva（* 取决于加热范围尺寸），冷却水 3 升/分钟 0.4mpa
加热器平面加热丝（用于晶圆）：c / c复合材料（或钨）
圆柱形加热丝（用于坩埚）：c / c复合材料（或钨）
* 根据加热范围的尺寸，通过组合平面加热器和圆柱形加热器，可以在整个坩埚中均匀加热。
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绝缘 石墨毡材料 钨屏蔽层，氧化铝绝缘
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使用氛围 在真空或惰性气体（ar、n2）中 在真空中，惰性气体（ar，n2），还原气体（h2等）
有效加热范围 φ1“~ φ4”（用于晶圆片进料烧制的平面加热器），或 -φ80 x 深度 最大100 （h） mm （圆柱形加热器）
极限真空度 1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉）
真空泵 旋转泵（可选：干泵、高真空泵）
热电偶 包括c型热电偶
联锁 腔室表面温度、加热器超温（可选：冷却水）
公用设施和冷却水 加热器额定值最大 6kva（* 取决于加热范围尺寸），冷却水 3 升/分钟 0.4mpa
加热器平面加热丝（用于晶圆）：c / c复合材料（或钨）
圆柱形加热丝（用于坩埚）：c / c复合材料（或钨）
* 根据加热范围的尺寸，通过组合平面加热器和圆柱形加热器，可以在整个坩埚中均匀加热。
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