sem样品的金属镀膜装置msp-1s的产品检测优势
msp-is镀金机 镀膜仪是为sem的样品制备而设计的专用喷金仪,为样品表面喷金属镀层。
工作原理:
采用了一个平板控制电极,通过低电压放电进行磁控溅射的喷镀。
msp-is镀金机 镀膜仪产品优势:
●起弧电压低有效减弱样品受到的离子损伤和热损伤。
●可移动式样品台:工作时,样品温升小,能有效防止由于离子溅射而产生的样品变形。
●内置真空泵,一体式设计
●msp-is是-一台只要启动“evac 按钮,就可以全自动完成喷涂的设备。
操作方法:
将样品放入样品室,根据镀层厚度需求设置喷镀时间,按下启动按钮后,从预抽气到喷镀整个过程都将自动进行,喷镀结束后旋转泵自动终止,样品室内充入空气后即可取出样品
技术参数
真空系统: 抽速20l/min,旋转泵最高可抽到2pa
样品室真空度: 在溅射时的真空度保持6-8pa
靶和样品的距离: 标准25 mm,也可以调整辅助平台,增大距离至35 mm
样品室尺寸: 高65 mm,直径120 mm,由耐热玻璃制成
靶材尺寸: 直径55 mm
靶材种类: 标配金.钯,可选配金、铂、金.钯合金、铂
样品台: 直径50 mm。与阳极分离的可移动式样品台
设备尺寸: 长200mmx宽340mmx高350 mm。重量: 14 kg
电源: 100v单相交流电,最大电流为10a
关键词:真空泵
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