气氛炉可以按照炉子内的气氛来分类,大致可以分为很多类,其中有放热式,吸热式等系列的气氛炉。气氛炉在工作使用的过程中,要维持炉子内的压力,也要保证炉子内从一开始就要与外界的空气隔绝。这样就对气氛炉的炉壳做工要求比较高了,炉壳,炉门及其所有外界链接的零件都要采用密封装置。在使用过程中,还要对炉子内的气氛来控制,除了控制气氛成分的稳定性能外,还要对炉内气氛进行自动控制,这样我们可以装置一些控制仪表,方便对炉内的气氛定期检测和调整炉子内的供气量。气氛炉的加热方法可以采用各种火焰辐射管或者电辐射管,将火焰或者电热体与炉气隔开,以免破环炉内气氛的稳定。
管式气氛炉一定要装设有防爆装置,因为当还原气体和空气混合达到某个程度的时候,在一定的温度下容易产生爆炸,为了保证工作人员的人身安全,和降低损失,不仅在淬火室以及缓冷室装设有防爆装置,还要在炉子供气和排气的控制系统也要装上防爆装置。因为假如气氛炉因操作不当发生爆炸,这种爆炸的威力那是非常强大的,极易威胁人员的生命安全。所以为了减少不必要的伤害,工作人员在工作使用时,一定要小心,定期做好检测。
另外,利用管式气氛炉快速升温制备硒化锌纳米晶薄膜的方法,取单质硒粉和单质锌粉按1∶1的摩尔比混合并转入高能球磨罐中,在氮气或氩气保护下球磨,使znse粉末的尺度为5~20纳米;将znse纳米粉放入石英舟一端的凹槽中,硅片或石英基片放在石英舟的另一侧;再将石英舟置于长度大于管式炉炉体长度1.5倍以上的石英管中,开启抽气机排氧并充入氩气,重复三次;将石英管冷端推入管式气氛炉中,要求5分钟内将石英管内放置的znse纳米粉末原料升温到800℃~1000℃,使硅片或石英基片的温度为160℃-240℃即可在硅片或石英片上得到硒化锌纳米晶薄膜。
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