DS300压力式气体质量流量控制器的电气接口形式介绍！
ds300简介
ds300压力式气体质量流量控制器是基于压力检测原理的质量流量控制器，流量控制采用压电阀控制技术。产品具有零点漂移小，控制流量稳定、可靠，响应时间短、精度高的优点，此外还具有压力不敏感功能，能够适用较大的气源压力波动。产品采用全金属密封，所有与气体接触的零件都经过ep处理，主要应用于半导体行业，如刻蚀设备上。
ds300外观图
电源方式
ds300压力式气体质量流量控制器（mfc）产品采用开关电源方式，可支持很宽的双电源（±8～±16v dc）或单电源（+14～+28v dc），客户可以根据需要自行选择。
电气接头
ds300压力式mfc产品的电气接头有devicenet接头和d型阳接头（9针或15针），客户可以根据需要自行选择。
图1 9针d型阳接头连接图
图2 15针d型阳接头连接图
通讯协议
ds300压力式mfc产品支持rs485串行通讯与devicenet通讯协议，客户可以根据需要自行选择，其中rs485串行通讯可以用rs485电缆线和相应的适配器与电脑进行连接。
图3 devicenet连接图
图4 rs485连接图
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