好利旺机械(orionmachinery,总部:日本长野县须坂市)开发出了可比原方式减少70%以上耗电量的温度调节控制技术——“热泵平衡控制”技术。该公司备有采用该技术的精密空调器“pap”系列产品、以及精密冷水机(chiller)“pec”系列产品(图1、2)。适用于以下用途:在精密模具以及球面加工等精细加工时,调整装置及工件的温度;在半导体保护层涂覆工序中,为了确保膜厚精度,调节周围环境以及保护液的温度。
该公司开发的热泵平衡控制技术,利用了家用热水器等采用的热泵循环原理。通常,热泵循环是从一方吸收热量、向另一方排放热量,以此进行加热的单向循环,而新技术在附加加热热交换器中也设置了加热机构及冷却机构,用1台压缩机构成了连续的冷冻循环。省去了温度控制用的电加热器。
另外,通过配管方式及控制技术的改进,使制冷剂更均衡地分流,因此,可根据产生热量的变动进行控制。耗电量为3.2kw,与使用电加热器的pid控制精密空调器相比,节省了73%的能量。在制冷机方面,配备了以前产品一直采用的dc无刷马达,由此,比配备ac伺服马达的制冷机提高了约30%的效率。
pap系列产品方面,备有风量为5/10/20m3/min的3种型号产品,并分别可选择是否配备hepa过滤器。价格为201万6000~304万5000日元(含税)。上述产品均可在18~30℃的范围内、以±0.1℃的精度控制温度。另外,pec系列产品的价格为172万2000日元(含税)。可在10~60℃下以±0.05℃的精度进行控制。
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