瑞研光学小课堂:光学元件表面平面度概念讲解

瑞研光学小课堂:光学元件表面平面度概念讲解
表面平面度是一种测量表面精度的规格类型,它用于测量反射镜、窗口片、棱镜表面等平面的偏差。
瑞研光学一般使用光学平晶来测量此偏差,如果是镀膜产品,一般是膜之前要检测表面精度,光学平晶是一种高质量、高精度的参考平面,是一种标准件,用于比较试样的平滑度。当所测试的光学产品的平面靠着光学平晶放置时,会出现条纹,其形状表示所检测的光学产品的表面平滑度。如果这些条纹间隔相等,并且是平行的直线,那么被检测的光学表面至少像参考光学平晶一样平展。如果条纹是弯曲的,则两个虚线(一个虚线与条纹中点相切,另一个虚线穿过同一个条纹的端点)之间的条纹数量会指出平滑度错误。
平滑度的偏差通常是按波纹值(λ)来测量的,它们是由多个波长的测试源组成。一个条纹对应½的波长。平滑度为1λ,则表示一般的质量级别;平滑度为λ/4,则表示的质量级别;平滑度为λ/20,表示高精度的质量级别。
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