目前,除对少数产品制定国家标准外(如高纯硼酸、高chun冰乙酸、高纯氢氟酸等),大部分高纯试剂的质量标准还很不统一,在名称上有高纯、特纯(extra pure)、超纯、光谱纯等不同叫法。
根据高纯试剂工业专用范围的不同,可将其分为以下几种:
(1)光学与电子学专用高纯化学品,即电子级试剂(eiectronicgrade)试剂。
(2)金属-氧化物-半导体(metal-oxide-semiconductor)电子工业专用高纯化学品,即up-s级或mos试剂(读作:摩斯试剂)。一般用于半导体,电子管等方面,其杂质最高含量为0.01-10ppm,有的可降低到ppb数量级,金属杂质含量小于1ppb,尘埃等级达到0-2ppb,适合0.35~0.8微米集成电路加工工艺。
(3)单晶生产用高纯化学品。
(4)光导纤维用高纯化学品。
(5)等离子体质谱纯级试剂(icp-mass pure grade):绝大多数杂质元素含量低于0.1ppb,适合等离子体质谱仪(icp mass)日常分析工作。
(6)等离子体发射光谱纯级试剂(icp pure grade):绝大多数杂质元素含量低于1ppb ,适合等离子体发射光谱仪(icp)日常分析工作。
(7)原子吸收光谱纯级试剂(aa pure grade)绝大多数杂质元素含量低于10 ppb ,适合原子吸收光谱仪(aa)日常分析工作。
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高纯试剂根据专用范围分类
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