中空轴伺服电动机主要特点
（1）从旋转电机轴上穿通的孔通过管道等可使流体光学通过。
（2）中空内径为φ30mm及φ60mm。
（3）由于中空部分的直径大，多个不同的流体能大量通过。
（4）药液通过中空的孔（洞）使用，因此可实现装置的小型化以及配管的削减。
（5）可应用于半导体制造装置方面的表面加工洗净处理等工程。
（6）容量由1~11kw，转速由2000~3000r/min，共有2个类型。
（7）中空轴部分是不锈钢标准规格。
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