等离子清洗机对晶圆清洗及活化
等离子清洗机的处理经常被用来优化晶圆表面接口条件，能让接口变得导电或者绝缘。半导体、玻璃、石英，甚至塑料材料都能采用等离子清洗机的活化反应，从而更好被粘接。
等离子清洗机适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。
等离子清洗机的腔体设计提供了较好的刻蚀一致性和工艺重复性。等离子清洗机应用包括各种各样的刻蚀、灰化、和减压步骤。其它的等离子清洗机的工艺包括污染去除、表面粗糙化、增加润湿性，以及提高焊接和粘接强度
关键词：等离子清洗机
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