真空手套箱采用双层密封时会产生的问题?

真空手套箱采用双层密封时会产生的问题:
一、中间层真空状态下
a. 内外层未失效情况:内外层往中间层泄漏更快,中间层实际上是外层空气和内层箱内气体的混合气,抽真空时通过真空泵反馈到系统内,影响箱体气氛。手套箱整体的泄漏率也会上升。
b. 内层失效状态下:箱内气体通过真空泵被大量抽出,气瓶不停给箱内补气,箱体气氛会变得很差,几乎与气瓶气氛相同。
c. 外层失效状态下:大量空气气体进入中间层,真空泵将空气抽入,并反到手套箱的循环系统及其它真空室中,对手套箱体气氛及净化柱造成严重影响或破坏。
二、中间层与箱体内压力相同
a. 在内外层未失效情况下,箱内气压不停在变化,中间层要相应随着变化。要加装压力传感器,且需要plc控制,抽充口会不停工作,以保证中间层与内腔压力相同,其极复杂且不可靠。
b. 内层失效,箱体内气体会被大量抽出,并不停充气,结果同一(b)。
c. 外层失效,空气会被大量抽出,结果同一(c)
三、中间层压力大于箱内压力设定
a. 这种情况,压力大的会加速往压力低的一方泄漏。当达到很小压差时,会对中间层补气。
b. 当内层失效时,大量气体会进入箱内,使箱内压力等同时中间层,在系统控制下,要保持中间层压力高于箱内,就会不停补气,直至手套箱由于压力过大停机或手套脱离。
c. 当外层失效时,大量气体会排入大气中。
关键词:手套箱 真空泵 压力传感器

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