精密光学平台控制相对运动

精密光学平台广泛用于精密仪器以及实验研究行业中,随着*的设备和工艺发展,使纳米量级的测量成为可能。
例如:用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照相物镜共同决定了相纸上每点的图像,如果在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都精确地一同移动,不存在相对于位移,成像也会很清晰,如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊,在精密光学平台干涉下测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
在一个理想的刚性体内部(只在理论上存在),任何两点的相对位置都是不变的。也就是说,在振动、静力矩或温度变化的情况下,任何实体的尺寸和形状都是不变的。如果所有的元件都稳固地连接成一个理想的刚性体,不同元件之间没有相对位移,系统的性能也会很稳固。理想的刚性体是不存在的。现实中的系统只能近似的认为是刚性的,因此,其稳定性就要受到多方面因素的影响。例如外界的振源,系统的重量,光学平台的结构等等。

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