金属产品经过等离子刻蚀机处理后发生氧化变色?
半导体材料外包装领域,包含电子器件、分离器件、传感器和光电子外包装,经常使用金属材料的引线框架,为了提高关键和塑料密封的可靠性,一般金属支架等离子蚀刻机处理几分钟,去除有机物、污染物表面,增加其焊接、粘接。但有时候我们会发现,金属支架在等离子刻蚀机的真空环境下处理不当,非常容易出現表面变色、变黑,严重的乃至是烧板等状况。难道说是由于腔体里头汽体并没有抽,残存空气中氧分子被激起,构成氧等离子体与金属表面发生化学反应而构成氧化的结果?原因会是这样吗?
一、crf等离子刻蚀机真空值对物品清洗效果和变色的影响
等离子刻蚀机真空值的相关因素包括真空腔漏率、背底真空、真空泵转动、工艺汽体进气流等。真空泵转动快,背底真空值越低,表明里头残存的汽体越少,铜支架与汽体里头的氧等离子体反应的机会就越少;当工艺汽体进入,构成的等离子体可以与铜支架反应,并没有被激起的工艺汽体可以把反应物带走,铜支架清洗效果会好,不容易变色。
二、crf等离子刻蚀机电源功率对物品清洗效果和变色的影响
等离子蚀刻机电源功率关联因素包含能量功率大小和单位功率密度。电源功率越大,等离子体能量就越高,对物品的表面轰击力越强;同等功率的情况下,处理的产品数量越少,单位功率密度就越大,清洗的效果就越好,但有可能会造成能量过大,板面变色或者烧板。
三、等离子刻蚀机电场分布对物品清洗效果和变色的影响
等离子清洗机的等离子电场分布关联因素包含电极结构、汽体流向和金属产品的摆放位置等相关。不同处理材料、工艺需要以及产能要求,对电极结构的设计是不一样的;汽体流向会构成一个气场,对等离子体的运动、反应、均匀性都会有影响;物品的摆放位置,会影响到电场和气场特性,导致能量分配不均衡,局部等离子密度过大而烧板。
除了以上几个因素外,实践证明等离子刻蚀机的处理时间、电源频率、载具类型等对物品的处理效果和变色也是有影响的。
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