离子注入机的构成
离子注入机是高压小型加速器中的一种，是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还能用于太阳能电池等的制造。
根据离子束电流和束流能量范围，离子注入机可分为三大类：中低束流离子注入机、低能大束流离 子注入机、高能离子注入机。离子注入机包含了气体系统、电机系统、真空系统、控制系统和射线系统5个子系统，其中以射线系统为最。
1、气体系统：存储杂质离子产生而需要使用的很多危险气体和蒸气，降低渗漏到生产中的风险；
2、电机系统：保证稳定精准的电压和电流，供杂质离子产生过程需要用到的热灯丝或射频等离子体源、质谱仪磁铁等正常运作；
3、真空系统：在高真空状态下，减少带电离子和中性气体分子沿离子轨迹发生碰撞引起不必要的 散射和能量损耗，减少因离子和中性原子间的电荷交换造成射线污染；
4、控制系统：机器手臂等机械控制晶圆的移动，使整个晶圆获得均匀注入；
5、射线系统：为离子注入机最重要的部分，根据所属功能分类，射线系统主要由6大核心零部件构成：离子源、吸极、离子分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。
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