ALICAT 气体质量流量计 20系列现货
产品特色
●数字化产品
●多参数显示和输出：温度、压力、流量等
●可选高精度：优于0.5%读数
●可测范围广，0.01~100%满量程
●响应时间快，优于10ms
●内置98种气体
●可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5sccm 到0-6000slpm（请咨询）
测量范围 0.01～100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带背光灯按键，标准为lcd显示屏，可选tft彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8%读数 +0.2%满量程）精度升级部分见左下角
± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度流量精度之外增加± 0.5%读数额外误差
重 复 性 ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ atm（从校准压力开始）
响应时间 优于10ms （与流量相关）
预热时间 <1s
默认标况（stp） 25 ℃&1atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ±0.75℃
工作湿度 0～ 95%，无冷凝
最大工作压力 1mpa 表压（可选2 mpag高压系列）
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 kpa以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5%读数（读数＞1 atm），或 ± 0.07 psia（＜1atm）
最大进出口压差 0.5mpa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40hz@19200波特率；
模拟信号：1000hz
屏幕刷新频率 10 hz
数字输入/输出信号 rs232、rs485、modbus rtu（rs232/rs485）、modbus tcp/ip、
devicenet、ethercat、ethernet/ip、profibus
模拟输入/输出信号 0-5vdc、1-5vdc、0-10vdc、4-20ma
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度在基础误差上额外增加 ± 0.1%满量程误差
供电电压 9-24 vdc（如选4-20 ma或0-10vdc输出，须为12-24vdc）
供电电流 40ma，额外加 40 ma（ 4 - 20 ma或0-10vdc输出）
电气接口 db9m，可选db15、6针工业接头、8针mini-din等
泄漏率（外漏） 选择hlc选项，泄漏率可低至1 x 10-9atm cc/s he
材 质 302、303、304、316l不锈钢、fkm、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 ip40
认 证 iso 9001、nist溯源认证、ce、rohs、reach、csa （可选）
精度升级
量程为 0.5 sccm - 6000 slpm，
其中 10 sccm - 20 slpm 量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.01% 满量程 / atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.1 % 读数 / atm（从校准压力开始）
选项配件
● 标准性能多功能数字显示屏显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力低压损无需预热viton密封8针mini-din电信号接口标准圆形电源接口rs-232多点式数字输出0-5vdc、0-10vdc或1-5vdc 多种模拟信号输出可选内置30种气体可选200:1量程可调比npt接头可测量从0.5sccm到3000slpm的满量程的任何流量有条件的终身质保
● 可选性能高精度累加器6针、db9或db15电信号接口profibus数字信号输出rs-485数字信号输出4-20ma模拟信号输出第二种模拟信号输出tft背光彩色显示屏远程显示屏远程tft背光彩色显示屏丙烯酸绝缘涂层epdm密封nessi本体氧气清洁用于高温环境的远程电子包装sae接头vcr, vco接头5vdc、12vdc、24vdc排气量报警(过高或过低)双向流动额外标定点定制混个气体（最多4种）定制流量范围
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●可选高精度：优于0.5%读数
●可测范围广，0.01~100%满量程
●响应时间快，优于10ms
●内置98种气体
●可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5sccm 到0-6000slpm（请咨询）
测量范围 0.01～100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带背光灯按键，标准为lcd显示屏，可选tft彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8%读数 +0.2%满量程）精度升级部分见左下角
± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度流量精度之外增加± 0.5%读数额外误差
重 复 性 ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ atm（从校准压力开始）
响应时间 优于10ms （与流量相关）
预热时间 <1s
默认标况（stp） 25 ℃&1atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ±0.75℃
工作湿度 0～ 95%，无冷凝
最大工作压力 1mpa 表压（可选2 mpag高压系列）
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 kpa以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5%读数（读数＞1 atm），或 ± 0.07 psia（＜1atm）
最大进出口压差 0.5mpa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40hz@19200波特率；
模拟信号：1000hz
屏幕刷新频率 10 hz
数字输入/输出信号 rs232、rs485、modbus rtu（rs232/rs485）、modbus tcp/ip、
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模拟输入/输出信号 0-5vdc、1-5vdc、0-10vdc、4-20ma
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度在基础误差上额外增加 ± 0.1%满量程误差
供电电压 9-24 vdc（如选4-20 ma或0-10vdc输出，须为12-24vdc）
供电电流 40ma，额外加 40 ma（ 4 - 20 ma或0-10vdc输出）
电气接口 db9m，可选db15、6针工业接头、8针mini-din等
泄漏率（外漏） 选择hlc选项，泄漏率可低至1 x 10-9atm cc/s he
材 质 302、303、304、316l不锈钢、fkm、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
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安装方式 对位置无要求
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认 证 iso 9001、nist溯源认证、ce、rohs、reach、csa （可选）
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量程为 0.5 sccm - 6000 slpm，
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质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.01% 满量程 / atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃（从 25 ℃开始）
± 0.1 % 读数 / atm（从校准压力开始）
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