离子溅射仪新品推荐

离子溅射仪新品推荐
———天泽智能科技发展(天津)有限责任公司
tzzn-200离子溅射仪结构及溅射原理
(tzzn-200型)
整体含溅射主机和真空系统组成,溅射靶头被设置成为一个二级溅射结构,通过均匀恒定的电场激发并电离气体分子,形成稳定的辉光放电现象,被电离的离子和电子在这个电场下进行加速,从而使靶原子逃离靶材表面在样品上面形成纳米涂层(如图一)。
图一
对原有产品的改进和升级改造
改造前的溅射源(靶头)tzzn-200/100
改造后的溅射源(靶头)tzzn-1000/ck/stx型
增加了一个恒定的磁场形成磁控约束方式,在辉光放电的过程中,带电粒子在原来的电场加速状态下,附加一个恒定的用磁场,利用带电粒子的特性,从而达到约束粒子运动的方向,改变原有的运动,改善溅射源的工作效率。
外加磁场的设置方式可根据不同的需求进行改变,经过试验天泽智能科技发展(天津)有限责任公司采取沉浸式的磁控方式,这种方式的优势,对于控制离子的运动和靶材的利用改善。
其他的升级和便利化设计,也都在天泽智能科技发展(天津)有限责任公司的广大客户帮助下进行便利化,通用化的改造升级。
如下:
1.增加的靶头的铰链结构
2. 升降样品台结构设计
3. 电子计时的升级
4.外观优化
5.增加自动放气系统
6.改善密封系统更好的保护样品室
通过系统化的改造升级,天泽智能科技发展(天津)有限责任公司推出新型的tzzn-1000磁控离子溅射仪,并在此基础上不断地改进,目前相继推出了定制的直径达到125毫米超大溅射靶头溅射仪,为了避免氧化反应的专用手套箱离子溅射仪等,欢迎广大新老朋友咨询和来样检测。
通过扫描电子显微镜图片分析,天泽智能科技发展(天津)有限责任公司新推出的tzzn-100/1000系列,高分辨大倍率的图像下镀膜的均匀性可以媲美同类型的进口产品。
截止目前我公司的200型离子溅射单台稳定使用时间已经长达10年,新品离子溅射仪在继承高稳定、高可靠性的前提下,更加契合新老朋友的需求,同时也感谢多年以来对我司的支持和理解。
天泽智能科技发展天津有限责任公司

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