F20膜厚测量系统工作原理分析
f20膜厚测量系统工作原理分析
这是一种行业标准、低成本、多功能桌面涂层厚度测量系统，已安装在全球 5,000 多个装置中。它可用于广泛的应用，从研究和开发到制造现场的在线测量。f20基于光学干涉法，可以在约1秒内轻松测量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系数。它还支持多点在线测量，并支持rs-232c和tcp/ip等外部通信，因此也可以从plc或主机进行控制。
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部份的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生振荡的现象。从光谱的震荡频率，愈多的震荡代表较大的厚度。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也也能同时测量。
主要特点兼容多种薄膜厚度（1nm 至 250μm）
兼容宽波长范围（190nm至1700nm）
强大的膜厚分析
光学常数分析（折射率/消光系数）
紧凑型外壳
支持在线测量
主要用途平板单元间隙、聚酰亚胺、ito、ar膜、各种光学膜等
半导体抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光学镀膜防反射膜、硬涂层等
薄膜太阳能电池cdte、cigs、非晶硅等
砷化铝镓（algaas）、磷化镓（gap）等
医疗保健钝化、药物涂层等
基本应用:
基本上所有光滑的、半透明或低吸收系数薄膜都可以测量。这包括几乎所有的电介质与半导体材料，例如：
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