表面粗糙度测量仪的测量原理

表面粗糙度测量仪的测量原理
电感传感器是轮廓仪的主要部件之一,在传感器测杆的一端装有金刚石触针,触针曲率半径很小,测量时将触针搭在工件上,与被测表面垂直接触,利用驱动器以一定的速度拖动传感 器。由于被测表面轮廓峰谷起伏,触状在被测表面滑行时,将产生上下移动。此运动经支点使磁芯同步地 上下运动,从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化。传感器的线圈与测量线路是直接接入平衡电桥的,线圈电感量的变化 使电桥失去平衡,于是就输出一个和触针上下的位移量成正比的信号,经电子装置将这一微弱电量的变化 放大、相敏检波后,获得能表示触针位移量大小和方向的信号。此后,将信号分成三路:一路加到指零表上, 以表示触针的位置,一路输直流功率放大器,放大后推动记录器进行记录;另一路经滤波和平均表放大器 放大之后,进入积分计算器,进行积分计算,即可由指示表直接读出表面粗糙度ra值。
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