SIOS差分激光干涉仪SP 5000 DI模块化结构
德国sios专业从事高精度测量仪器的开发和制造，于1991年成立。从一开始，sios和研究所之间就进行了紧密的科学技术合作。这为开发和制造精密测量技术的创新产品奠定了基础，尤其是在激光干涉仪领域。今天，过程测量和传感器技术研究所与sios之间的合作仍在继续，以使双方都受益。
sios公司始于“technologie- undgründerzentrumilmenau”（技术和形成中心），并于1993年搬入了“ am vogelherd”商业园区的自有建筑物。该公司仍位于该园中，尽管该建筑在近几年中已进行了多次扩建。该公司与伊尔默瑙技术大学及其在伊尔默瑙技术区的联系紧密，为业务奠定了坚实的背景，并确保了未来成功的技术进步。如今，sios已成为全球性企业。代表处分布在将近30个重要的工业国家中，大约50％的销售额来自海外。
sios主要产品：
长度测量系统
激光干涉仪、差分激光干涉仪
长度和角度测量系统
双光束干涉仪、三光束干涉仪
校准系统
校准激光干涉仪、紧凑型校准激光干涉仪、激光干涉仪、带有角锥反射镜的激光干涉仪
纳米定位和纳米测量机
激光振动计
测量探头
测量和校准系统
稳定的氦氖激光器
气候测量站
主要型号：
sp-ng series、sp 15000 c5、sp 5000 tr、nmm-1、sp-s series、na series、lm series、lm 20、pt series、model sl 02、model sl 04、sp 5000 di、sp 5000 di/f
我们的超稳定差分激光干涉仪 sp 5000 di 具有的热稳定性，可用于研发中的长期测量，例如 b. 在材料测试中使用。由于具有参考光束的结构，测量系统可以放置在距测量点更远的位置，而不会显着影响测量的分辨率和稳定性。干涉仪的长度分辨率为 5 pm，由于相同光束长度下测量系统的差分原理，在正常实验室条件下也可以实现。如果使用倾斜不变反射器进行测量，则长度测量的测量范围为几米。该系统具有模块化结构，因此可以适应测量任务。调整可以很容易地进行并且具有长期稳定性。基于 sp 5000 di 干涉仪的多轴系统结构也支持多坐标测量。
性能特点差分激光干涉仪可作为 oem 版本作为编码器安装在机器轴上。 sp 5000 di 可作为真空优化版本提供，用于在真空中进行测量。
标准光束间距为 21 毫米
技术参数
详细参数位移测量范围：5 m
位移分辨率：5 pm
角度测量范围
带反射器：±12.5°
带平面镜（建议距离≤2m）：±1.5弧分
光束距离（标准）：21 mm
波长：632.8 nm
hene激光器的频率稳定性（预热时间之后）：2·10-8
hene激光器的预热时间：10 ... 20 min
工作温度范围：15 ... 30°c
测量反射镜的位移速度：max.3 m /s
传感器头和电子单元之间的电缆长度：3 m，max.10 m
电源：100 ... 240 vac / 47 ... 63 hz
尺寸（长x宽x高）
传感器头（带基板）：150 x 140 x 43 mm
电子供应和评估单元（标准）：450 x 400 x 150 mm
电子供应和评估单元（紧凑）：250 x 400 x 150 mm
重量
感测头：2.0 kg
底盘：1.5 kg
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性能特点差分激光干涉仪可作为 oem 版本作为编码器安装在机器轴上。 sp 5000 di 可作为真空优化版本提供，用于在真空中进行测量。
标准光束间距为 21 毫米
技术参数
详细参数位移测量范围：5 m
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角度测量范围
带反射器：±12.5°
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波长：632.8 nm
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