洁净室施工-洁净室性能测试(自净时间)

洁净室施工-洁净室性能测试(自净时间) 性能指标
性能类别
效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
性能指标
性能类别
效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
性能指标
性能类别
效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
性能指标
性能类别
效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
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效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
性能指标
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效 率
(e %)
额定风量下的初阻力(pa)
a
额定风量下的钠焰效率
≥ 99.9
≤ 190
b
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.99
≤ 220
c
额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
≥ 99.999
≤ 250
d
额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
≥ 99.999
≤ 280
1、洁净室的自净时间检测通常只适用于非单向流洁净室,一般以大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,采用粒子计数器测试。
2、先应测量洁净室内靠近回风口处稳定的含尘浓度(n)。
如果以大气尘为基准,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(n0)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。
以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器(如巴兰香烟)放置在地面上1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(n0)。然后开机,方法同上。
3、由初始浓度(n0),室内达到稳定的浓度(n),实际换气次数(n),可得到计算自净时间(t0),与实测自净时间(t)进行对比,一般的,如果t≤1.2t0,为合格。
4、洁净室的自净性能还可以采用粒子浓度变化率评估,或者直接测量洁净室的100:1-自净时间进行评估,具体方法可参照iso14644-3中的b.13。

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